Urbánek, M., Krátký, S., Matějka, M., Kolařík, V., & Horáček, M. (2014). Plazmochemické leptání křemíku v zařízení Diener nano. Chemické Listy, 108(6), 592–595. Získáno z http://ww.w.chemicke-listy.cz/ojs3/index.php/chemicke-listy/article/view/485